解決方案
SOLUTION
晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
晶圓傳送裝置里，最常見(jiàn)的裝置為機(jī)械傳送臂，此機(jī)械結(jié)構(gòu)能快速準(zhǔn)確地將晶圓在傳送室和處理室之間完成抓取和放置。 對(duì)比傳統(tǒng)的機(jī)械傳動(dòng)方式，諧波傳動(dòng)技術(shù)在晶圓機(jī)械傳送臂中，利用柔輪在工作中不斷變形的特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的傳動(dòng)比變化，但這種特點(diǎn)由于轉(zhuǎn)動(dòng)慣量大，導(dǎo)致啟動(dòng)的力矩也變大，經(jīng)常產(chǎn)生額外的能量損耗和熱損失，同時(shí)機(jī)械臂末端的精度也容易受到影響。 對(duì)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人來(lái)說(shuō)，機(jī)械臂的末端精度將決定其精準(zhǔn)的操控能力，確保晶圓在搬運(yùn)過(guò)程不受損傷和污染，避免碰撞和傾倒，因此機(jī)械臂的末端精度極為重要。
方案優(yōu)勢(shì)
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技術(shù)
無(wú)需其他傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，安裝簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，且擁有高機(jī)械精度和高定位精度的特性
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降本
滿足技術(shù)指標(biāo)的同時(shí)，較于日系 品牌客戶可節(jié)省成本30%+
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貨期
降本的同時(shí)貨期更快
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服務(wù)
快速高效響應(yīng)服務(wù) 省內(nèi)24小時(shí)，省外48小時(shí)
應(yīng)用方案
晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
針對(duì)諧波傳動(dòng)的不足，漢驅(qū)智能直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制專家將自主研發(fā)的DDR馬達(dá)QR120-064和QR118-110，分別用于兩個(gè)機(jī)械臂和機(jī)器人整體的旋轉(zhuǎn)上，兩款電機(jī)采用單圈絕對(duì)值編碼器，上電后無(wú)需回零，避免兩個(gè)機(jī)械臂干涉，憑借經(jīng)濟(jì)、高效、高速、靜音、精準(zhǔn)、節(jié)能等特性，成功替換諧波結(jié)構(gòu)，幫助客戶在生產(chǎn)效率、成品質(zhì)量上實(shí)現(xiàn)質(zhì)的有效提升。
漢驅(qū)智能DDR馬達(dá)適用性
經(jīng)濟(jì)、高效、高速、靜音、精準(zhǔn)、節(jié)能
通過(guò)采用漢驅(qū)智能直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制解決方案對(duì)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的優(yōu)化，設(shè)備叉取晶圓片機(jī)械臂末端的精度可達(dá)±0.05mm內(nèi)，且回轉(zhuǎn)半徑小，在精準(zhǔn)感知晶圓位置進(jìn)行搬運(yùn)操作的同時(shí)，能大幅提升空間使用率。 由于沒(méi)有齒輪減速機(jī)的中間傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，DDR馬達(dá)的使用完美地減少了使用諧波傳動(dòng)結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生大振動(dòng)和機(jī)械噪音，電機(jī)具有更強(qiáng)地起步能力地同時(shí)，能量損失也能減少，從而提高生產(chǎn)效率。 另外，漢驅(qū)智能產(chǎn)出的 DDR馬達(dá)憑借國(guó)產(chǎn)自主可控技術(shù)，能夠保持絕對(duì)的成本價(jià)優(yōu)勢(shì)，解決了目前國(guó)內(nèi)諧波傳動(dòng)結(jié)構(gòu)仍需依賴高價(jià)進(jìn)口的問(wèn)題。
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